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半導體行業凈化解決方案

晶圓設備,微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導體產業首要擔心的問題。不能很好的在潔凈室或設備中控制微粒或AMC將大大的削弱企業的經營利潤。潔凈室的主要的問題是產品、工具、加工過程和氣味控制的污染。

傳統的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器,整個地面為迴風柵板。如今我公司生產的FFU 使用自帶風機的過濾裝置,解決了繁複的安裝和性價比問題,是目前市場上一種安靜、價格優良的機組,為潔凈室輸送高質量的循環空氣。

 

污染物

來源

引發問題

解決方案

粉塵

空氣

造成集成電路斷路、短路,影響成品率

化學過濾模塊+普通、高效過濾器/FFU

NH3,NMP

外氣

“T-top“現象

化學過濾模塊

 

 

部分成交客戶

 

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