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其他微電子行業凈化解決方案

 

少量未處理的微粒或者氣體分子可能嚴重影響一些工藝流程。請想象一下污染的空氣對半導體、製藥和其它高度敏感的製造工藝流程可能產生什麼樣的危害。

 

先進的生產方法通常要求非常潔凈的空氣環境,很多情況下,空氣要求還可能更加嚴格。例如,電子行業要求非常乾淨的製造環境,以便生產大規模集成電路。由於電路板寬度可能只有1微米或者更少,這就要求將三維微粒污染控制在0.1微米以內。

 

潔凈室的重點就是過濾設備,但根據不同的潔凈室類型,需要考慮使用不同的空氣過濾設備。

 

憑藉15年以上的微電子和半導體污染控制技術行業經驗以及對“國際半導體科技進程”的參與,我公司完全能夠提供好的解決方案,實現先進的微粒和AMC控制。

 

我公司在已通過ISO9000認證並嚴格控制生產環境的工廠內專門生產HEPA/ULPA過濾器。我們在全球多個生產基地同時生產同一類型的空氣過濾器和永利娱乐。大規模的生產能力確保我們的產品能夠隨時滿足世界各地的需求。

 

污染物

來源

引發問題

解決方案

粉塵、 微細鹽粒子

空氣

造成微電子脫落或者影響精度

潔凈室HVAC系統的新風機組加化學過濾功能段,在FFU加化學濾網

 

 部分成交客戶:

 
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